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真空感应化学气相沉积炉真空感应化学气相沉积炉是在真空或保护气氛下,利用中频感应原理将置于感应线圈内的石墨坩埚加热,也可电阻加热,石墨坩埚中放入被制备的碳-碳复合材料。在一定温度下将坩埚加热到规定温度,并通入稀释的碳氢气体。该气体