真空热处理炉包括真空退火炉、真空烧结炉、高温高压真空炉、真空加热炉，气氛真空炉、真空管式炉、真空箱式炉等；真空热处理炉分为外热式和内热式，本文为我们介绍的是内热式真空热处理炉。1.内热式真空热处理炉的结构内热式真空热处理炉是将整个加热设备（加热元件、耐火材料）及欲处理的工件均放在真空容器内，没有炉罐，整个炉壳便是一个真空容器。炉中安设电热元件、隔热屏、炉床、电扇、传送机构和其他构件等。经过电热元件的热辐射或充入气体气流循环加热工件，炉壳多采用双层水冷式规划，因而也可称作冷壁式真空炉。
电热元件多位于加热室中部，围绕工件有用加热区规划安置，外部是金属辐射屏或非金属隔热屏结构，炉床安装在加热室下部，电扇结构所安设在冷却室，也有安设于加热室的一端，上部或下部，并且和热交换器设备组成强制气流循环的加热和冷却系统。传递机构多设在冷却室，有些和炉外料筐支架相连，依据用处和某些特殊要求采纳不同型式结构。加热电极经过炉壳引入，规划时要考虑加热电极的水冷和密封结构，以保证其良好的工作特性。
现在内热式真空热处理炉形式多样，按其外形及结构可分为立式、卧式、单室、双室和三室。工作冷却方式分为自冷、负压气冷、负压油冷和加压气冷（2×10³pa）、高压气冷（2×10⁵pa）及超高压气冷（20×10⁵pa）等炉型。依照热处理工艺科分为淬火炉和回火炉。有单功能的，也有多功能的。
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